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    布局光刻机核心器件,华为哈勃投资入股科益虹源

      来源:芯智讯      作者:    发布时间:2021-06-06

    64日消息,根据企查查的资料显示,国内高端准分子激光技术厂商北京科益虹源光电技术有限公司(以下简称“科益虹源”)发生工商信息变更,新增华为旗下的哈勃科技投资有限公司(以下简称“哈勃投资”)、徐州光远股权投资合伙企业(有限合伙)及自然人江锐成为公司股东,同时注册资金由12000万元提升至20160万元,增幅达68%。其中,哈勃投资持股4.7619%

    资料显示,科益虹源成立于20167月,由中国科学院微电子所、亦庄国投、国科科仪等共同出资设立。随着20183月科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器顺利出货,打破了国外厂商的长期垄断。科益虹源也成为了中国唯一、世界第三家具备193nm ArF准分子激光技术研究和产品化的公司。

    科益虹源还承担了“02重大专项浸没光刻光源研发”、“02重大专项核心零部件国产化能力建设”、“02重大专项集成电路晶圆缺陷检测光源”等国家专项。

    此外,科益虹源也是国产光刻机厂商上海微电子的光源系统供应商。此前消息也显示,科益虹源还将与上海微电子整机单位共同完成28nm国产光刻机的集成工作。

    而此次华为旗下的哈勃投资入股科益虹源,似乎也正是为了加码布局光刻机领域的研发。

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